日本在武装侵华后，即推行“以华制华”的政策，在占领区内扶植傀儡政权，实行殖民统治。伪满洲国、“内蒙军政府”和“冀东防共自治政府”均是实例。全面侵华以后，日本军部仍将树立地方傀儡政权作为重要工作来做。关东军在1937年8月14日制定的《对时局处理纲要》中，对建立伪政权作了精心的筹划，规定“新政权”必须“亲日满，防共”，接受日本特务机关的“内部指导”，并要“配备有能力的日本人作顾问”(日本防卫厅防卫研究所战史室：《中国事变陆军作战史》第1卷第1分册，第238页。)。于是，在侵华日军的扶植下，各地汉奸政权纷纷建立。
在华北沦陷区内，较早成立的汉奸地方政权是在北平和天津。1937年7月30日，“北平临时治安维持会”成立，主席是北洋时代的步军统领江朝宗。“天津地方治安维持会”于8月1日成立，由北洋时期直系政客高凌霨搜罗了一批失意军人、政客组成。但“治安维持会”毕竟不是正式的地方政权。9月4日华北方面军司令部专门成立了特务部，以喜多诚一少将为部长，最重要的任务就是建立华北伪政权。在他的策划下，10月28日，特务部提出了一份《华北政权建设研究》的文件，称“新政权不是华北地方政权，而应是取代南京政府的中央政府，其政令得在日军势力范围内所属全部地区普遍施行”。其理由是，“如果以地方政权为牌匾，不足以号召第一流人物前来参加，且带有分割中国的地方政权形式的嫌疑，实非善策。再者，建立地方政权乃是消极退让，易被南京政府的统一政策所压倒”。(日本防卫厅战史室编：《华北治安战》(上)，第53～54页，天津人民出版社1982年6月版。)这一建议得到了军方强有力的支持，随着中日谈判可能性的渺茫，日本政府也予以默认，华北汉奸政府便告成立。
12月7日，北洋时期的直系政客王克敏从香港来到北平，他是喜多诚一物色的华北伪政权的核心人物。随后，经过王克敏、江朝宗、高凌霨、汤尔和、王揖唐、朱深、董康、齐燮元等8人的多次会商，决定成立“中华民国临时政府”。12月14日，即南京陷落的第二天，“临时政府”在北平居仁堂成立。“临时政府”实行所谓三权分立制，主席职位暂时空缺，下设以汤尔和任委员长的议政委员会;以王克敏任委员长的行政委员会和以董康任委员长的司法委员会。以五色旗为“国旗”，以北京为首都，并继承中华民国的年号。同时还发表“施政方针”，声称要“肃清国民党一党专制的党治之弊”，“以合乎东亚道义的民族协和精神为基础”，“绝对排斥容共政策”。(《傀儡组织(三)》，第128页。)
日本的企图，是在陶德曼调停失败后否认国民政府，以华北的“临时政府”取而代之，并使这个政府“对华中华南方面也取得威信”。(日本防卫厅战史室编：《华北治安战》(上)，第56页。)然而，由于南北日军之间存在着矛盾，华中日本派遣军不久也扶植了一个汉奸政权。
华中建立伪政权的工作由华中派遣军特务机关长臼田宽三一手策划。1937年12月5日，“上海大道市政府”成立，以苏锡文任“市长”。翌年元旦，“南京自治委员会”又成立，陶锡山任“会长”。至1938年元月下旬，华中各地成立的“治安维持会”已达26个。臼田宽三最初打算在上海成立一个伪政府，但由于上海民众反日活动高涨，加上日本物色的汉奸政权核心人物唐绍仪、周凤岐等慑于民众威力不敢出面，日本人只得取消原计划，改在南京继续策划。3月28日，“中华民国维新政府”在南京成立。这个傀儡政权共设三院：梁鸿志任行政院长，温宗尧任立法院长，司法院长人选暂缺。行政院下设七部：外交部长陈箓，内政部长陈群，绥靖部长任援道，财政部长陈锦涛，教育部长陈则民，实业部长王子惠，交通部长梁鸿志兼(后由江洪杰担任)。维新政府辖三省两特别市：江苏省长陈则民，浙江省长汪瑞闿，安徽省长倪道烺，上海市政督办苏锡文，南京市政督办任援道。
“维新政府”在发表的十条政纲中，声称绝对否认国民政府;实行三权分立;极力扑灭共产主义。同时鼓吹要实行“不丧失国权的平等外交”;同日本实行提携;运用外国资本开发资源，振兴工业，改良农业等，实在是可笑之极。因为“维新政府”无论在政治、军事、外交还是经济上，均同“临时政府”一样，受日人操纵。华中派遣军特务部长原田熊吉少将任最高顾问，率绥靖顾问谷川幸造、内政顾问五十岚翠等27名日本顾问控制了“维新政府”的一切事务。尤其是日本强迫“维新政府”签订了一系列经济协定，将华中的重要矿产资源(尤其是国防矿产)、铁道、航空、通信、水电等完全控制。
除此而外，日本关东军还先后在察哈尔、山西、绥远建立了3个伪政权。1937年9月4日，张家口成立了以于品卿为最高委员、金井章二任最高顾问的“察南自治政府”，管辖察南10县。10月15日，在大同成立“晋北自治政府”，管辖山西长城以北地区13县，由夏恭任最高委员，前岛升任最高顾问。10月27日，又在归绥扶植了“蒙古联盟自治政府”，以云端旺楚克(云王)任主席，德穆楚克栋鲁普(德王)任副主席兼政务院长，由金井章二任最高顾问，代行主席职权，下辖察哈尔、锡林郭勒、乌兰察布、巴彦塔拉、伊克昭五盟和厚和(今呼和浩特)、包头两市。
9月22日，“中华民国联合委员会”在北平成立，由“临时政府”的王克敏、朱深、王揖唐和“维新政府”的梁鸿志、温宗尧、陈群6人组成，王克敏任主席。然而，由于这些人多为北洋旧官僚政客，政治上名声较臭，加上日军内部的派系分歧，这一委员会始终无法过渡成为统一的中央伪政权。